Phân loại tính năng phòng sạch
Theo tiêu chuẩn FS 209 thì phòng sạch được phân thành 6 loại chính với cấp độ và và tính năng như sau:
Hình 1: Tính năng phòng sạch
Loại 1 (Cleanroom Class 1):
- Áp dụng cho các nhà máy sản xuất mạch tích hợp với công nghệ kích thước siêu nhỏ.
Loại 10 (Cleanroom Class 10):
- Áp dụng cho các nhà máy sản xuất bán dẫn dùng sản xuất các mạch tích hợp có bề rộng dưới 2 Ilm.
Loại 100 (Cleanroom Class 100):
- Áp dụng cho các loại phòng đòi hỏi không có vi khuẩn, bụi để sử dụng sản xuất các loại thuốc tiêm vô khuẩn.
- Áp dụng cho loại phòng phẫu thuật cấy mô.
- Áp dụng cho loại phòng hậu phẫu sau phẫu thuật cấy mô xương.
Loại 1000 (Cleanroom Class 1000):
- Áp dụng cho loại phòng sản xuất trang thiết bị quang học chất lượng cao.
-Áp dụng cho loại phòng sản xuất bạc đạn kích thước siêu nhỏ.
Loại 10,000 (Cleanroom Class 10,000):
- Áp dụng cho loại phòng lắp ráp trang thiết bị thủy lực, khí nén, các loại van điều khiển trợ động, các thiết bị định giờ và bộ truyền động chất lượng cao.
- Áp dụng cho loại phòng sản xuất các loại thuốc tiêm vô khuẩn.
Loại 100,000 (Cleanroom Class 100,000):
- Áp dụng cho loại phòng dùng cho công việc liên quan đến quang học.
- Áp dụng cho loại phòng dùng lắp ráp linh kiện điện tử, thủy lực và khí nén.
- Áp dụng cho loại phòng dùng để sản xuất dược phẩm, thực phẩm